STK200_K2-NOH0S
備是針對 200 mm 晶圓立式爐製程設備的客製化設備前端倉儲模組
- 儲位達 21 組
- 與立式爐設備連結達到製程全自動化功能
- 採用先進機器人技術以及整合多種運動和控制軟件技術，實現完全自動化 Cassette 存放，檢索和跟蹤操作
- 設備結構與通訊協定符合 SEMI 規範
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載入，載出埠模式:
1. SMIF Opener
2. OHT with SF Opener
3. Open Cassette I/O port
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