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HA Vacuum Type
可針對 2~12 吋的晶圓執行中心與角度定位
採用高解析度 CCD 光學辨位系統
獨創的演算法，快速推算出定位
對應透明材質工件，也能無誤判位
優秀的感測能力，支援具 Notch，平邊、雙平邊與翹曲晶圓
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產品詳情
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HA Clamp Type
高速晶圓定位器
採用光纖感測辨位系統
獨創的演算法，快速推算出定位
支援具Notch晶圓
低應力接觸，晶圓破損風險最小化
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Vacuum Type
高速定位 對應薄片
採用高解析度 Line CCD 光學辨位系統
獨創的演算法，快速推算出定位
對應透明、超厚、超薄、翹曲晶圓工件
優秀的感測能力，支援具 Notch、平邊、雙平邊工件
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產品詳情
HA Clamp Type
高速晶圓定位器
採用光纖感測辨位系統
獨創的演算法，快速推算出定位
支援具Notch晶圓
低應力接觸，晶圓破損風險最小化
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