標準型

• 採 AC 伺服與步進馬達省配線驅動並存的控制系統並裝配高解析絕對值編碼器
• 獨家專利的小體積可變間距機構，可於 4.5~15mm 的間距範圍內無段控制
• 可選擇執行單片及五片晶圓取放動作
• 連結 200mm STOCKER及立式爐製程，能對應不同 Pitch 的片盒