Front-End Stocker System for 300 mm wafer
本設備是針對 300 mm 晶圓立式爐製程設備的客製化設備前端倉儲模組
- 可儲存多達 26 組 FOUP
- 與立式爐設備連結達到製程全自動化功能
- 採用先進機器人技術及整合多種運動和控制軟件技術，實現完全自動化 FOUP 存放，檢索和跟蹤操作
- 配合 Camera 及手操器的應用，實現可機外 Teaching 的功能
- 可於FOUP 儲位選配 Purge 系統
- 設備結構與通訊協定符合 SEMI 規範
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