ROBOTIC PARTS - 三和技研股份有限公司

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State of the art

三和與客戶共同探討規格，並提供訂製END-EFFECTOR的服務，
型
對應2"~12"貼合或超薄材料的傳送，材質包含各類金屬、陶瓷 SiC。

真空吸著型
對應 150/ 200mm 晶圓附對照式 Mapping 功能

真空吸著型
對應 100/ 150/ 200mm 晶圓附反射式 Mapping 功能

真空吸著型
對應 300mm 翹曲晶圓

多段真空吸著型
對應 10"~17" 矩形面板

真空吸著型
對應 300mm 金屬框

真空吸著型
對應 10" 金屬框

Edge Grip 型
對應 300mm 晶圓附對照式 Mapping 功能

Edge Grip 型
對應 200mm 塑膠框附反射式 Mapping 功能

Edge Grip 型
對應 200mm 金屬框附反射式 Mapping 功能

Edge Grip 型
對應 200/ 300mm 金屬框附反射式 Mapping 功能

Edge Grip 型
對應 200mm 薄化晶圓

Edge Grip 型
對應 300mm 濕製程晶圓

雙翻轉真空吸著型
對應 200/ 300mm 晶圓附對照式 Mapping 功能

雙翻轉真空吸著型
對應 150/ 200mm 晶圓附對照式 Mapping 功能

雙翻轉白努利吸爪型
對應 200/ 300mm 晶圓

翻轉軸 Edge Grip 型
對應 300mm 濕製程晶圓

高荷重翻轉軸 Edge Grip 型
對應 300mm 不鏽鋼載盤

Passive Edge Grip 型
對應 200mm 晶圓附可變間距功能

真空吸著型
對應批量 5片 300mm 晶圓

Edge Grip 型
對應批量 25 片 300mm 晶圓

Vacuum Type End-Effector

Vacuum Type End-Effector

型
對應 2"、3"、4" 各式 Wafer
提供客製化製作
Material : Ceramic

Vacuum Type End-Effector

Vacuum Type End-Effector

型
對應 6" - 12" 各式 Wafer
提供客製化製作
Material : Ceramic

Vacuum Type End-Effector

Vacuum Type End-Effector

型
對應 6" - 12" 各式 Wafer
提供客製化製作
Material : Ceramic

Vacuum Type End-Effector

Vacuum Type End-Effector

型
對應 8" - 12" 各式 Wafer
前端含Mapping功能
提供客製化製作
Material : Ceramic

Vacuum Type End-Effector

Vacuum Type End-Effector

型
對應 8" - 12" 各式 Wafer
型
對應薄片、撓曲量 ±7mm
提供客製化製作
Material : Metal