不用走行軸可對應 3P (多關節運動模式)

• 雙末端軸置於單手臂，可執行雙手功能
• 針對 300mm 晶圓，可達 SEMI 標準 3 port 平行取放
• 所有軸均採用 AC 伺服驅動並裝配絕對值編碼器
• 獨特的多軸運動控制可實現出色的運動軌跡

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