SAS Series
3 軸圓柱座標型關節式單臂潔淨機器人
- 偏心肩關節設計能抑制迴旋半徑增加取放距離
- 全軸採用閉迴路 AC 伺服馬達驅動並裝配高解析絕對值編碼器
- 高強度與高剛性手臂能搭載末端翻轉軸等較大的負荷
- 高機能控制器能實現弧形運動軌跡
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ROBOT
SAD Series
4 軸圓柱座標型關節式雙臂潔淨機器人
- 偏心肩關節設計能抑制迴旋半徑增加取放距離
- 全軸採用閉迴路 AC 伺服馬達驅動並裝配高解析絕對值編碼器
- 高強度與高剛性手臂能搭載末端翻轉軸等較大的負荷
- 能執行交換片與雙臂同取動作
- 高機能控制器能實現弧形運動軌跡
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SSS Series
3 軸圓柱座標型單臂高荷重潔淨機器人
- 全軸採用閉迴路 AC 伺服馬達驅動並裝配高解析絕對值編碼器
- 雙軸補間控制可實現極佳的線性軌跡精度
- 高剛性結構適用於長行程、高負載搬送應用
- 旋轉範圍 360° 以上無死角
- 可客製防水性能
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SSD Series
4 軸圓柱座標雙臂高荷重潔淨機器人
- 全軸採用閉迴路 AC 伺服馬達驅動並裝配高解析絕對值編碼器
- 雙軸補間控制可實現極佳的線性軌跡精度
- 高剛性結構適用於長行程、高負載搬送應用
- 旋轉範圍 360° 以上無死角
- 可客製防水性能
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SK Series
5 軸水平多關節式單臂雙腕潔淨機器人
- 全軸採用閉迴路 AC 伺服馬達驅動並裝配高解析絕對值編碼器
- 各關節為高傳動剛性元件直接輸出，確保高速運行時的精度與穩定性
- 雙腕置於單手臂，提升應用靈活性
- 針對 300mm 晶圓，最高可應用於 SEMI 標準 4 port 平行取放
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FR Series
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FV Series
3 軸直角座標型垂直關節式單臂 FOUP 取放潔淨機器人
- 薄型化 Z 軸本體，減少設備內佔據體積
- 採底部夾持 FOUP
- 獨家專利的垂直向伸縮臂，可大幅減小 FOUP 儲位的垂直間隔
- 靜態時手臂具有良好的負荷剛性
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VIP Series
5 軸圓柱座標型雙線性臂高行程潔淨機器人
- 採 AC 伺服與步進馬達省配線驅動並存的控制系統並裝配高解析絕對值編碼器
- 獨家專利的小體積可變間距機構，可於 4.5~15mm 的間距範圍內無段控制
- 可選擇執行單片及五片晶圓取放動作
- 連結 200mm STOCKER及立式爐製程，能對應不同 Pitch 的片盒
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SNE Series
壁掛式長行程雙臂潔淨機器人
- 全軸採用AC 伺服馬達、線性馬達，並搭配高解析絕對型編碼器
- 可同時高達五片晶圓取放，實現更高的搬送吞吐量與靈活的動作配置
- 小迴旋半徑、長取片行程，最大化空間利用率
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SSS Series
單次25片高效能傳送
- 高剛性、高負載、達成25片晶圓的批次傳送
- 經由獨特夾持裝置與最佳化移動速度達到穩定地傳遞晶圓
- 兼具髒污與潔淨物件隔離傳送，可依不同的接觸區域來隔離製程前及後的髒污與潔淨之晶圓
- 適用於高潔度環境
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VIP Series
對應不同PITCH的片盒
- 高縮放性可變間距設計，可達 4.5~15mm 的靈活性
- 兼具單臂與雙臂同動傳送
- 採複合 AC 伺服與高解析度步進驅動
- 獨特直進性結構設計，完美呈現平穩移動
- 適用於高潔進度與緊湊的需求空間
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