產品特色

• 儲位達 21 組
• 與立式爐設備連結達到製程全自動化功能
• 採用先進機器人技術以及整合多種運動和控制軟件技術，實現完全自動化 Cassette 存放，檢索和跟蹤操作
• 設備結構與通訊協定符合 SEMI 規範
• 載入，載出埠模式:
  1. SMIF Opener
  2. OHT with SF Opener
  3. Open Cassette I/O port