不用走行軸可對應3P(多關節運動模式)

• 雙末端軸置於單手臂，可執行雙手功能
• 針對300mm晶圓，可達SEMI標準3 port平行取放
• 所有軸均採用AC伺服驅動器並裝配絕對值編碼器
• 獨特的多軸運動控制可實現出色的運動軌跡