標準型

• 全軸採用閉迴路 AC 伺服馬達驅動並裝配高解析絕對值編碼器
• 各關節為高傳動剛性元件直接輸出，確保高速運行時的精度與穩定性
• 雙腕置於單手臂，提升應用靈活性
• 針對 300mm 晶圓，最高可應用於 SEMI 標準 4 port 平行取放