SF Indexer
可使晶圓被取/放的機型
- 多種通訊介面:
1. 內建 RS232, Ethernet
2. Parallel IO, SECS I/ II (選配) - SEMI S2 標準認證
- 內建晶圓判讀及突出檢測功能
- 容易安裝，操作與維護
- 可選配適配器，進行 Open Cassette 上的應用
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SMIF OPENER
SF Opener
可使卡匣被取/放的機型
- 多種通訊介面:
1. 內建 RS232, Ethernet
2. Parallel IO, SECS I/ II (選配) - SEMI S2 標準認證
- 內建晶圓判讀及突出檢測功能
- 容易安裝，操作與維護
- 可選配適配器，進行 Open Cassette 上的應用
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SF Indexer
多功能 省空間
- 內建多種通訊介面: RS232 、 Ethernet、Parallel IO、 SECS I/ II，均可選配
- 內建晶圓 Mapping 與晶圓突出檢知
- 易於安裝、操作與維護
- 選配轉接盤，可對應 Open Cassette