Standard FOUP Type
LOAD PORT for 300 mm wafer
- 符合 SEMI 300mm 設備標準
- 易於安裝及調整
- 運轉快速、平穩、無振動
- 高精度晶圓狀態判讀，滿足薄晶圓需求
- 晶圓盒開蓋平穩、無塵
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LOAD PORT
Frame FOUP Type
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SSS Series
單次25片高效能傳送
- 高剛性、高負載、達成25片晶圓的批次傳送
- 經由獨特夾持裝置與最佳化移動速度達到穩定地傳遞晶圓
- 兼具髒污與潔淨物件隔離傳送，可依不同的接觸區域來隔離製程前及後的髒污與潔淨之晶圓
- 適用於高潔度環境
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VIP Series
對應不同PITCH的片盒
- 高縮放性可變間距設計，可達 4.5~15mm 的靈活性
- 兼具單臂與雙臂同動傳送
- 採複合 AC 伺服與高解析度步進驅動
- 獨特直進性結構設計，完美呈現平穩移動
- 適用於高潔進度與緊湊的需求空間
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