產品特色

• 可儲存多達 26 組 FOUP
• 與立式爐設備連結達到製程全自動化功能
• 採用先進機器人技術及整合多種運動和控制軟件技術，實現完全自動化 FOUP 存放，檢索和跟蹤操作
• 配合 Camera 及手操器的應用，實現可機外 Teaching 的功能
• 可於FOUP 儲位選配 Purge 系統
• 設備結構與通訊協定符合 SEMI 規範