標準型

• 全軸採用AC 伺服馬達、線性馬達，並搭配高解析絕對型編碼器
• 可同時高達五片晶圓取放，實現更高的搬送吞吐量與靈活的動作配置
• 小迴旋半徑、長取片行程，最大化空間利用率