客製化設計

• 客製化全自動 300mm 晶圓 FOUP 儲存設備，可儲存多達 26 個 FOUP
• FOUP 存放系統採用先進機器人技術以及整合多種運動和控制軟件技術，實現完全自動化 FOUP 存放，檢索和跟蹤合作
• 配合監視器及手操器的應用，實現可機外 Teaching 的功能
• N2/XCDA Purge 循環模式 

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