客製化設計

• 本系統為將晶圓搬運盒內之 Wafer 搬送到 Shipping box 之全自動搬運系統
• 由晶圓搬運盒取出Wafer，翻轉後置入 Shipping Box，全程動作由特製 Robot 完成，無需其他機構
• 間隔膜缺料檢知功能
• Wafer holding 採非接觸式晶圓保持功能

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