SSS201 Series
單次25片高效能傳送
- 高剛性、高負載、達成25片晶圓的批次傳送
- 經由獨特夾持裝置與最佳化移動速度達到穩定地傳遞晶圓
- 兼具髒污與潔淨物件隔離傳送，可依不同的接觸區域來隔離製程前及後的髒污與潔淨之晶圓
- 適用於高潔度環境
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ROBOT
SSD201 Series
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FV501 Series
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VIP201 Series
對應不同PITCH的片盒
- 高縮放性可變間距設計，可達 4.5~15mm 的靈活性
- 兼具單臂與雙臂同動傳送
- 採複合 AC 伺服與高解析度步進驅動
- 獨特直進性結構設計，完美呈現平穩移動
- 適用於高潔進度與緊湊的需求空間
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SK2401 Series
不用走行軸可對應 3P (多關節運動模式)
- 雙末端軸置於單手臂，可執行雙手功能
- 針對 300mm 晶圓，可達 SEMI 標準 3 port 平行取放
- 所有軸均採用 AC 伺服驅動並裝配絕對值編碼器
- 獨特的多軸運動控制可實現出色的運動軌跡
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SAD201 Series
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SSS201 Series
單次25片高效能傳送
- 高剛性、高負載、達成25片晶圓的批次傳送
- 經由獨特夾持裝置與最佳化移動速度達到穩定地傳遞晶圓
- 兼具髒污與潔淨物件隔離傳送，可依不同的接觸區域來隔離製程前及後的髒污與潔淨之晶圓
- 適用於高潔度環境
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VIP201 Series
對應不同PITCH的片盒
- 高縮放性可變間距設計，可達 4.5~15mm 的靈活性
- 兼具單臂與雙臂同動傳送
- 採複合 AC 伺服與高解析度步進驅動
- 獨特直進性結構設計，完美呈現平穩移動
- 適用於高潔進度與緊湊的需求空間
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SK2401 Series
不用走行軸可對應 3P (多關節運動模式)
- 雙末端軸置於單手臂，可執行雙手功能
- 針對 300mm 晶圓，可達 SEMI 標準 3 port 平行取放
- 所有軸均採用 AC 伺服驅動並裝配絕對值編碼器
- 獨特的多軸運動控制可實現出色的運動軌跡
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