標準型

• 多種通訊介面:
  1. 內建 RS232, Ethernet
  2. Parallel IO, SECS I/ II (選配)
• SEMI S2 標準認證
• 內建晶圓判讀及突出檢測功能
• 容易安裝，操作與維護
• 可選配適配器，進行 Open Cassette 上的應用