多功能 省空間

• 多種通訊介面:
  1. 內建 RS232, Ethernet
  2. Parallel IO, SECS I/ II (選配)
• 內建晶圓 Mapping與晶圓突出檢知
• 易於安裝, 操作與維護
• 可透過選配轉接座操作 Open Cassette