We bring new life into old equipment and are able to extend the life of your equipment.
為何需要系統改造?
- 原始設備商或Robot供應商已不存在
- 維修零件無法取得
- 基板停產
- 馬達、Driver 、特規零件停產
- 功能不符合現在製程需求
- 動作時序不符,無法提升產能
- Interlock功能不足,容易撞機
- 速度太慢影響效率
- 價格貴服務差
- 更新換代時間太快、太貴
- 即使有備品交期也超過6個月
系統改造有什麼好處?
- 讓特殊昂貴的設備壽命得以延續
- 讓特殊昂貴的設備生產得以穩定
- 讓特殊昂貴的設備產能得以提升
- 免除設備維修的後顧之憂
三和為您提案
三和有自己的研發、生產、製造團隊,已成功銷售超過1000台的Robot和設備;已成功開發超過10種設備的改造。有充分的經驗為客戶提供Robot和設備改造的服務。
方案1
更換控制器、馬達和驅動系統以及Robot O/H
方案2
更換控制器和全新Robot
方案3
- 更換控制器和全新Robot
- 追加週邊機構及控制功能
- 整合Interlock時序機制的控制
系統改造實績List
Equipment name | Robot Type |
---|---|
CMP | Hirata AR-W150CL-4-SR-300-M |
Hirata AR-WL180CL-3-S-300 | |
Hirata AR-W150CL-4-SR-300-M | |
Hirata AR-W180CL-3-S-300-MF2 | |
Hirata AR-W150CL-4-SR-300-M-AP1 | |
Hirata AR-W150CL-4-SR-300 | |
Hirata AR-W180CL-4-t-300 | |
YASAKWA XU-RC350D-B23 CALMP FORK UNIT | |
COATER | MECS UTX-N1000HG |
CVD | DAIHEN SPR-8505 |
DAIHEN SPR-8521 | |
Milara H4-13XDA13.7 | |
Dry Etching | DAIHEN SPR-806 |
DAIHEN SPR-8501 | |
LOAD/UNLOAD | SANKYO SR-8185 |
DAIHEN SPR-903 | |
PVD | DAIHEN SPR-8501 |
DAIHEN SPR-8505 | |
DAIHEN SPR-809 | |
SORTER | AITEC AR-3GS |
SPUTTER | DAIHEN SPR3002-X3172 |
DAIHEN SPR3002-X3049 | |
COMET R2D 6" & 8" & 12" | |
STEPPER | CANON FPA-3000 Reticle Barcode Reader |
CANON FPA-5000 Reticle Barcode Reader | |
UV COATER | SANKYO SR-8143 |