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ST200 Series
對應多種面板尺寸
伸縮筒式Z軸設計,低 Pass Line 高行程
連桿式雙臂設計,旋迴半徑可最小化
最大搬送物 W730 x D920mm
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ET200 Series
對應多種面板尺寸
高行程、快速、輕量、雙臂
超高閉密結構,提供高潔淨度
手臂直進精度 ±1mm 以內
最大搬送物 W730 x D920mm
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ET300 Series
對應多種面板尺寸
兩段 Z 軸實現高行程低取片高度,且易於運送與安裝
高剛性、輕量化的結構,實現高度精度傳送即可延長使用壽命
可變間距的牙爪設計,實現高精度傳送及可延長使用壽命
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ET500 Series
對應多種面板尺寸
兩段 Z 軸實現高行程低取片高度,且易於運送與安裝
高剛性、輕量化的結構,實現高精度傳送及可延長使用壽命
可變間距的牙爪設計,實現多種基板尺寸的傳送功能
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連桿式雙臂設計,旋迴半徑可最小化
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