穩定 高速

• 4Port SMIF POD對應之全自動傳送系統.
• 晶圓傳送固定方式，依客戶需求可選擇真吸附或邊緣夾持方式
• 內部微環境的潔淨度控制，採以CFD流體分析驗證，並確保內外壓差之設計，使Wafer傳送過程不受汙染
• 最佳化的Robot運動軌跡，以最短路徑加上曲線補間達到快速穩定的傳送
• 完整的紀錄數據，可滿足工業4.0下之預測性維護