標準型

• 薄型化 Z 軸本體，減少設備內佔據體積
• 採底部夾持 FOUP
• 獨家專利的垂直向伸縮臂，可大幅減小 FOUP 儲位的垂直間隔
• 靜態時手臂具有良好的負荷剛性