可變間距多片晶圓傳送Robot

一款長行程 Z 軸，旋回半徑最小化，直進雙臂設計，適用於狹小空間且高度潔淨需求對應端。
具備多片可變 Pitch 晶圓夾持單元，採高解析度步進與伺服混合，搭配獨有 S-曲線加速度控制，可安全且穩定的完成最多達 4+1 片晶圓傳送。